ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究 第3報：ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロミリング工具の作製と工具性能評価

摘要

本研究は，単結晶シリコンの異方性エッチング技術とダイヤモンドCVD技術を併用したダイヤモンドアレイ工具について検討している．本報では，超硬シャンクとダイヤモンドアレイ工具をミクロンオーダで接合する，工具取付け装置の試作を行い，マイクロミリング工具の作製を行った．また，作製した工具を用い微細加工を行い，ダイヤモンドアレイ工具の超精密加工用工具としての有用性について検討した．