ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究 第1報：精密加工用工具としての性能評価

摘要

単結晶シリコンの異方性エッチングにより作製したシリコンモールドに対して，CVD絵により多結晶ダイヤモンド薄膜を成膜し，ダイヤモンドアレイ工具を作製した．この工具は，切れ刃形状と配列を精密に規定できるという特徴をもっている．本報では，これを精密加工用工具として利用するために，工具性能評価装置を作製し，基礎的な加工実験を行い，ダイヤモンドアレイ工具の性能評価を行った．その結果，工具破損を生じることなく，工具形状を正確に転写する加工が可能であった．