ニーズに応える超精密加工機と活用技術：超精密加工機械へのニーズと加工技術

摘要

超精密マイクロ切削加工に関心が高まっている。 マイクロ加工技術として半導体関連技術が取り上げられることが多いが，機械加工も特長のあるマイクロ加工が可能で，その利点も認知されてきている。 ここでは，切削加工からマイクロ加工へのアプローチを考える。