超精密加工机床的关键部件技术

摘要

超精密加工是为了适应现代高科技发展需要而兴起的一种机械加工新工艺,它的发展利用了机床、工具、计量、环境技术、光电子技术、计算机技术、数控技术和材料科学等的进步成果,它是先进制造技术的重要支柱之一。