ニーズに応える超精密加工機と活用技術：超精密加工機へのニーズと最新技術

摘要

一般的に超精密加工と超精密研削加工は別のジャンルとして扱われることが多い。 当社では，1980年にすべての摺動面に多面拘束形非接触油静圧案内構造を採用した，成形平面研削盤の開発を始め，1988年にSGU-52（図1）を市場投入した時から「超精密研削盤」という表現をしている。 当社の製品は，原則として最小分解能に見合った加工点での繰り返し再現性，真直精度などの運動特性をマシンに与えているため，得られる加工品質（形状精度と品位）も最小分解能のオーダになる。 現在当社では，最小分解能が1μmまでを精密·高精度とし，1μm以下で0.1μmまでのサブミクロン分解能のマシンを超精精密として分類している。 さらに2000年JIMTOFにおいて10nm(0.01μm)，2002年JIMTOFにおいて1nm(0.001μm)分解能のマシンを実用機として業界で初めて出品をしている。 これら，ナノマシンは超超精密加工機として分類している。 さらに機能，制御軸数，使用目的に応じてナノセンター，インテリジェントセンターとして登録商標を取得している。