最近の事例に学ぶ精密位置決めの設計技術：電磁モータを用いた機構の制御動向と精密位置決め

摘要

本稿では，主に産業機械を対象に，まず電磁モータを用いた精密機構に適用される制御の動向について述べ，次に摩擦の作用しない機構（無摩擦機構）と作用する機構の精密位置決め·運動制御の具体例を紹介する。 無摩擦機構としては，コンパクトナノ加工機用に開発した超精密XY位置決めテーブルを取り上げて，その制御系設計と性能の一端を示す。 摩擦が作用する機構に関しては，転がり軸受·案内を有する機構を取り上げ，高性能位置決めコントローラを誰でも簡単に設計できることを目的とした実用的な簡単設計法と，その適用結果例を紹介する。