シリコン鏡面を利用した－MEMSリングレーザジャイロ：光を使ったMEMS角速度センサの実用化に向けて

摘要

兵庫県立大の前中助教授らが研究している，シリコン鏡面を利用したリングレーザジャイロは量産に適した技術でありながら，高性能なリングレーザジャイロの特性を利用してつくられており，用途の拡大が期待される。 本稿では，その特徴，従来技術との比較などを紹介いただく。 近年，「MEMS」という単語を目にすることが多い。 MEMSとは，Micro Electro Mechanical Systemsの略で，高度に成長した集積回路技術をベースにマイクロなエレキとマイクロなメカをシステム化するということである。 すでにわれわれの身の回りには，MEMS技術を用いて実現されているデバイスが大量にある。 例えば，乗用車のエアバッグ作動のための衝突検出用加速度センサや足回り制御用の角速度センサ（ジャイロ），インクジェットプリンターのヘッドのほか，最近は家電製品や玩具に至るまでMEMSデバイスが投入されている。 その主な特徴は，半導体微細加工技術をベースにしているため小型·軽量であること。 また，バッチプロセス（一括加工）により大幅な価格低減が見込めることである。 このような技術を用いて，従来，大型かつ高価であったシステムを小型·軽量，安価に組み立て直し，民生品への組み込みを可能にしていく例が多い。 そして，角速度センサ（ジャイロ）も，その1つである。 本稿では，私たちの研究室で研究を進めている，光を用いたMEMS角速度センサについて紹介する。