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利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术

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本文的主要内容包括:(1)简要介绍了硅微型陀螺仪的分类及其基本工作原理,包括硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪、振动轮式微机械陀螺仪、硅微型框架驱动式陀螺仪.(2)详细介绍了以微陀螺为核心的微型惯性测量系统的组成,在应用中的关键技术,主要问题及解决途径,并展望了微型惯性测量系统的发展前景.(3)提出了利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术.

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来源
《2004第四届精密工程学术研讨会》|2004年|31-35|共5页
会议地点重庆
作者
邓晓蓓; 王向军;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类机械加工精度理论;
关键词
MEMS; 微加工; 硅微加工; 硅微陀螺; 惯性测量; 微机电系统;
入库时间 2022-08-17 11:01:53

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