太古の木製ねじから使用拡大一途のボールねじまで（18）－超精密位置決め その3：ボールねじ駆動の小型ナノステージ開発物語

摘要

その後，あくまでボールねじにこだわってナノレベルステージの性能アップをはかってきたシグマテック（株）のご許可を得て，ナノレベル位置決め装置の性能アップの模様を時系列で述べさせていただく．なお，これらの製品には，特許に出していないノウハウのかたまりであり，筆者も十分理解できない部分もあることをご容赦いただきたい．