带有低膨胀玻璃尺的高性能直线定位平台和高精度滚珠丝杠驱动器

摘要

Aerotech推出一款小巧紧凑的高性能直线定位平台MPS75SLE，具有平稳的行程和高负载能力。此款新型MPS75SLE平台专为需要光学仪器、面形测量和一般用途高定位精度校准的生产和科研应用而设计。其精密研磨、预负载滚珠丝杠和线性编码器提供了优异的准确度、可重复性和高达25nm的定位解析度。