先端光学デバイス創製用SR光ナノフォーミシグ金型の開発

摘要

高度情報社会への急速な移行に伴い、光学素子、光通信部品および光情報デバイスの高精度、高機能化が求められている。 製品に求められる特性としては寸法精度、面粗さがあげられる。 これらの要求を満たす製品を量産するための金型は、NCによる精密機械加工法を中心として加工限界への挑戦がなされている。しかしながら、この加工法では最終製品で要求される寸法精度、面粗さに限界がみえつつある。 本事業は、SR光リソグラフィによる高精度の母型作製技術の開発および高転写性を有する低残留応力のニッケルー鉄系合金電鋳技術により、高精度·高強度電鋳金型の作製技術の研究開発を実施し、光学素子、光通信部品および光情報デバイスの高精度、高機能化を実現する（図1参照）。