微米和纳米新技术在制造光学器件方面的应用（下）

摘要

8 扫描探针显微术 在探测系统方面,扫描探针显微术(SPM)变得越来越重要,尤其是在分子生物技术和大屏幕平行测量方面,它们需要减少总的分析时间。SPM的另一个重要性是表面物理、化学性质的检测和分析,不仅在研究方面。