物質置換による超精密金型の表面改質加工法の開発

摘要

本研究では金型の超精密機械加工プロセスと同時に、金型表面の微細な非晶質酸化膜形成および物質置換現象に基づく新しい表面改質加工プロセスとを付加することで、ナノ精度の金型加工とその表面改質加工の複合プロセス化を実現するための研究開発を行う。