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机译:使用远程等离子体氧化技术在低温下形成超薄二氧化硅膜,并应用于栅极绝缘体
Plasma oxidation; Quasi-static C-V; MOSFET; Gate-controlled diode;
机译:使用远程等离子体氧化技术在低温下形成超薄二氧化硅膜,并应用于栅极绝缘体
机译:使用远程等离子氧化和栅极绝缘子的低温在低温下形成超薄二氧化硅薄膜
机译:使用远程等离子氧化和栅极绝缘子的低温在低温下形成超薄二氧化硅薄膜
机译:用于iii-v应用的低温二氧化硅和氮化硅膜的电感耦合等离子体沉积
机译:用于金属氧化物半导体栅极介电应用的二氧化硅远程等离子体氮化研究。
机译:低温阳极氧化硅薄膜的生长和腐蚀速率研究
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