机译:低温下远程等离子体增强化学气相沉积镀锌氯添加对二氧化硅性能的影响
机译:在低基板温度下通过等离子体增强化学气相沉积和热线化学气相沉积沉积的薄膜的机械和压阻特性
机译:远程等离子体增强化学气相沉积法沉积低温二氧化硅膜的生长机理
机译:等离子体气体对远程等离子体增强化学气相沉积法制备的低温沉积SiOCH薄膜绝缘性能的影响
机译:等离子体功率和沉积压力对等离子体增强化学气相沉积沉积的低介电常数等离子体聚合环己烷薄膜的影响
机译:通过远程等离子体增强化学气相沉积沉积非晶硅和硅基电介质:在制造TFT和MOSFET中的应用
机译:低温等离子体增强化学气相沉积法直接在氧化硅上合成石墨烯
机译:在低衬底温度下通过射频等离子体增强化学气相沉积法沉积的掺杂非晶硅和纳米晶硅的电子和结构性质