化学気相蒸着法による配向したナノチューブフィルムの合成

摘要

鉄を触媒とした化学気相蒸着法によるナノチューブフィルムの合成をFig.1に示すような3ステップによって行った。 ステップ1（被覆）硝酸鉄（III)のエタノール溶液をシリコン基板上にスピンコートすることによって,硝酸鉄（III）フィルムを均一にコートする。 フイルムの厚さは硝酸鉄の濃度を変えて調節する。 ステップ2（熱処理）石英管の中に硝酸鉄フィルムのついた基板を入れ,10~(-6)mbarの減圧化で加熱（650－750 deg C）したのち,窒素を導入する。下式に従って酸化鉄が生成する。