低温熱化学気相沈積を適用したカーボンナノチューブ担体金属触媒の合成及びこの触媒を使用したカーボンナノチューブの合成方法

摘要

本発明は、一種のカーボンナノチューブ（carbon nanotubes）の合成方法に関するものである。 特にそれは一種の低温熱化学気相沈積を適用して合成したカーボンナノチューブの担体金属触媒に関するものである。 本発明に示す低温（600 deg C以下）熱化学気相沈積を適用して合成したカーンボンナノチューブの担体金属触媒は、担体として粒径0.01～10μmの貴金属顆粒が使われている；さらにこの貴金属顆粒の上に金属触媒を沈積させるが、この金属触媒は鉄、コバルト、ニッケル或いはその合金で、この金属触媒の対貴金属粒子の重量比は0.1：100～10：100の間のものである。 本発明は、この担体金属触媒の基材の上に直接低温でカーボンナノチューブを合成させる方法を示すもので、その中で、カーボンナノチューブを合成した後は、触媒担体を除く必要がないものである。