Исследование влияния параметров затворной областина статические характеристики полевых СВЧ-транзисторовна основе псевдоморфных гетероструктур AlGaAs-InGaAs-GaAs

摘要

Рассмотрены результаты численного моделирования и экспериментального исследования влияния параметров затворной области на статические характеристики полевых СВЧ-транзисторов на основе псевдоморфныхгетероструктур AlGaAs-InGaAs-GaAs (р-НЕМТ). Продемонстрирована возможность корректного моделирования статических характеристик реальных приборных конструкций р-НЕМТ-транзисторов с использованием программного пакета ТСАО фирмы SILVACO. Показана принципиальная необходимость использования селективного травления затворной канавки для контролируемого и воспроизводимого получения требуемых приборных характеристик.