溶液ソース気相プロセス·ミストデポジション法による有機薄膜の形成

摘要

シリコンテクノロジーに代表される半導体技術の発展はわれわれの生活を豊かにしてきた．しかしながら，さらなる技術の発展には，高性能であるだけでなく，地球環境をも考慮した技術が求められる．筆者は，環境に優しい材料として，酸化物や有機材料を取り上げている．