高繰り返ししーザープラズマ光源用ターゲット開発と実用化の步み－Xeクライオジェニックターゲット供給法の展開－

摘要

レーザープラズマ光が研究され始めて既に30年近くにとしている.それはレーザーのピークパワーの向もに実現可能になった高温高密度プラズマから発光する.レーザープラズマ光源はシンクロトロン光源に比べ小型であるという利点があるため，Ⅹ線顕微鏡，分射光風近接露光リソグラフィー（X線リソグラフィー）の光断として研究されてきた。 レーザープラズマX線の応用については早くも1974年にMallozziらにより，医療応，喝が提案された隼Nagelらの仕事は光リソグラフィーへの応用(Pulsed x-ray lithography)ほ実証したバイオニヤ的仕草として有名であが。 これら当時の研究状況はNRL Memorandum Repoortに詳しく採録されている?彼らの研究ほその後のレーザープラズマⅩ線応用研究活動の始まり前夜と言ってよいだろう。最近の最も明確捕用は極端紫外光リソグラフ付注WL順光源である．