背光源靶用TiO2/SiO2纳米复合低密度气凝胶泡沫疏松靶的研制

摘要

本文成功地制备了Ti02/Si02纳米复合低密度气凝胶泡沫疏松背光源靶，对制备的气凝胶疏松靶进行了多项性能表征，经测试这说明Ti/Si形成了纳米量级的均匀复合。采用傅立叶变换红外光谱表征了样品中有机基团，并在傅立叶变换红外光谱中可以观测到明显的Ti-O-Si峰存在，说明了Ti和Si通过氧桥形成了分子级复合，这使得掺杂的微观均匀性非常良好。