半導体洗浄液中の極微量な金属不純物を検出オプション機能を追加した装置を発売

摘要

金属自動測定装置開発のフィアモ（東京·渋谷）は半導体洗浄液中の極微量な金属不純物を検出する装置「FIAMO」に3種類のオプション機能を追加し、販売を始めた。複数の薬液槽を同時に測定するなど、洗浄液をきめ細かく監視するようにした。 半導体の不良品発生を抑制して製造歩留まりの向上に役立つという。 12月7日～9日に千葉市で開かれた半導体製造装置·材料の国際展示会（セミコン·ジャパン）に出展した。