Структура и кристаллографическая ориентация алюминиевых пленок на n- и p-кремнии в системах Al - Ti - Si, Al - Ti - SiO_x - Si

摘要

Изучена структура и кристаллографическая ориентация алюминиевых пленок в системах Al-Ti-Si, Al-Ti-SiO_x-Si с использованием электронно-микроскопического, электронографического и рентгеновского методов исследований, а также термодинамического анализа. Определена роль барьерных слоев, образованных Ti и композицией Ti-низкотемпературный оксид кремния SiO_x, в образовании структуры и ориентации зерен алюминия.