比重を使用したウエットプロセスにおける薬液の濃度管理＜SG-2110RS型ロードセル方式比重計＞

摘要

比重計を利用した薬液の濃度測定は半導体や液晶製造のウエットプロセス、MEMSデバイスなどの最先端の微細加工技術など幅広い応用が可能である。本稿では他の計測機器との比較をしながらその測定原理、特徴、応用例などを概説する。