ワイドバンドギャップパワー半導体のダイアタッチ技術

摘要

パワー半導体の接合技術は、デバイス機能の品質と厳しい環境における動作を実現する信頼性を左右する重要な技術である。パワー半導体には、図1に示すように様々な異相界面があり、製造においてはそれぞれを最適な状態で再現性よく形成することで、優れたパフォーマンスが得られる。これらの中でも、ダイアタッチ技術は大きな役割を担っている。