微細加工プラットファーム「ナノサイストラソヅスタおよびMEMSを基盤とする複合機能デバイス研究支援」

摘要

2012年7月に微細構造解析、微細加工、および分子·物質合成の3つのプラットフォームよりなる文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業が開始された。広島大学は、微細加工プラットフォーム16機関の1つである。この事業の前身は、2002年、2007年にそれぞれ開始されたナノテクノロジー総合支援プロジェクトおよびナノテクノロジー·ネットワークプロジェクトであり、広島大学はいずれのプロジェクトにも参画した。