一种基于电流体动力的多功能微加工平台

摘要

本发明公开了一种基于电流体动力的多功能微加工平台，包括微加工喷头单元、接收基板单元、过程监测单元和系统控制单元；其中，所述的微加工喷头单元包括微加工模式调节器、喷头和进液装置；所述的接收基板单元包括接收基底、导电层、加热层和二维移动平台；所述的过程监测单元包括白光源、单筒显微镜和相机；所述的系统控制单元包括移动平台控制器、高压电源放大器和计算机。该多功能微加工平台，集成电喷涂、电纺丝、电喷印和墨水直写四种微加工模式，实现微米/亚微米尺度点、线段的图案化微加工。