微細加工されたLa{sub}(1-x)Sr{sub}xMnO{sub}3薄膜のアニールによる回復効果

摘要

La{sub}(1-x)Sr{sub}xMnO{sub}3は，ナノ構造素子におけるスピン依存伝導に興味が持たれており，それらを実現するために必要となる微細加工が行われている．その際，La{sub}(1-x)Sr{sub}xMnO{sub}3薄膜は高温で製膜するためにリフトオフによる素子加工ができず，Arイオンミリングなどのエッチングが必要となるが，La{sub}(1-x)Sr{sub}xMnO{sub}3はキャリア濃度に敏感な物質であるため，その影響は無視できないと考えられる．そこで，本研究ではLa{sub}(1-x)Sr{sub}xMnO{sub}3 (LSMO)薄膜のArイオンミリングによるダメージを調べ，アニールによる回復を試みた．また，単層膜だけでなく，実際に微細加工を行った微細パターン素子においても加工の影響とアニール効果について調べた．