La_(1-x)Sr_xMnO_3电极的制备及其对Ba_(1-x)Sr_xTiO_3薄膜介电性能的影响

摘要

采用溶胶-凝胶法在Si(100)基底上制备了La1-xSrxMnO3电极材料。采用XRD、SEM对材料的晶体结构、表面形貌、薄膜厚度进行了表征,研究了退火温度对薄膜结构及电阻率的影响,以及介电常数与介电损耗随频率变化的关系。结果表明:在x=0.5,退火温度为800℃时,La0.5Sr0.5MnO3薄膜的电阻率为1.2×10-2Ω.cm。La0.5Sr0.5MnO3薄膜与Ba1-xSrxTiO3匹配性较好,实现了BST薄膜的外延生长,其介电性能比在Pt上制备的Ba1-xSrxTiO3得到了明显的改善。