底电极与组分对Ba_(1-x)Sr_xTiO_3薄膜结构与介电性能影响的研究

摘要

以Pt与La0.5Sr0.5CoO3为电极,采用溶胶-凝胶法分别沉积Sr/Ba比不同的Ba1-xSrxTiO3薄膜,研究结果表明:沉积在两种电极上的Ba1-xSrxTiO3薄膜,随着Sr/Ba比的增加,Ba1-xSrxTiO3薄膜的介电常数呈先增大后减小的趋势,当Sr含量为50%即为Ba0.5Sr0.5TiO3且频率为1kHz时,薄膜具有最大的介电常数,分别是80,95和最小的介质损耗,分别是0.15,0.1。介电常数随着频率的升高呈下降趋势,介质损耗则成上升趋势。沉积La0.5Sr0.5CoO3电极上的Ba1-xSrxTiO3薄膜比Pt电极上的Ba1-xSrxTiO3薄膜具有更高的介电常数和低的介质损耗。