トライボロジー試験·測定技術：光干渉式三次元表面粗さ測定システムによるトライボロジー特性の評価

摘要

1982年に世界で初めて商品化された光干渉式表面形状評価技術は、その当時多くの人々を驚嘆させるものであった。 比較的広範囲の表面形状を瞬時に、かつ高精度で評価が行えるこの計測技術は、その当時触針計などで破壊検査するしか手段がなかった様々な被測定物の表面形状を、非破壊で高速·高精度な観察を可能とした。 結果、この原理は研究開発·設計分野で大きな貢献を果たすことになった。 昨今では、基本測定原理をもとに様々な応用が施され、当時は研究·開発の用途としてスタートしたこの計測技術も、今では最も性能·品質·安全性とともに高速スループットが要求される半導体／MEMS、データストレージ、液晶·光学部品、トライボロジー分野で求められる、様々な金型成形·微細加工分野などの最先端材料の製造工程における形状·粗さ評価手段の一つとして用いられている。本稿では、米Veeco社製の光干渉式三次元表面粗さ測定システム「WYKOシリーズ」を例に、光干渉式の基本原理とトライボロジー業界において有効な機構、応用技術、各種業界における評価例を紹介したい。