机译:掩模倍率对超NA光刻中成像的影响
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机译:基于激光作者的UV光刻优化,具有高倍率光学仪表X射线光刻掩模模板
机译:使用三层多层镜的高放大倍率物镜在波长下进行极端紫外线光刻掩模观察
机译:65-NM节点的光刻 - 错误预算优化的新策略:超级成像的掩模规范
机译:利用基于图像的格式,以优化模式数据格式和掩模和掩模模式生成光刻的处理
机译:高度对准的聚合物纳米线蚀刻掩模光刻可实现石墨烯纳米孔晶体管的整合
机译:基于计算光刻产生三维图像的内置镜头掩模技术
机译:光化掩模成像:sHaRp EUV显微镜的最新结果和未来方向。会议:极紫外(EUV)光刻V,加利福尼亚州圣何塞,2014年2月23日;相关信息:期刊出版日期:2014年4月17日。