机译:厚纳米结构器件的电子束光刻和电沉积制造
X-RAY MICROSCOPY; ZONE PLATES; ELECTRON; NANOLITHOGRAPHY; METHACRYLATE; RESIST;
机译:厚纳米结构器件的电子束光刻和电沉积制造
机译:电子束光刻和Ga离子辐照制备图案化Co / Pd纳米结构
机译:电子束光刻和Ga离子辐照制备图案化Co / Pd纳米结构
机译:高能量(100keV)电子束光刻技术用于在铌酸锂和石英上制造深亚微米SAW器件
机译:使用纳米球面光刻和RIE刻蚀制造二维纳米结构阵列及其在光学器件中的应用。
机译:用于金纳米阵列制造和在纳米技术中使用的高速电子束光刻
机译:使用孔罩胶体光刻,电沉积和退火制备多晶和单晶铂纳米结构