机译:具有静电悬浮力的MEMS驻极体发生器,用于振动驱动的能量收集应用
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机译:MEMS驻极体能量收割机具有嵌入式静电弹簧,用于宽带响应
机译:MEMS静电感应变压器,使用钾离子驻极体进行交流电流的上转换或下转换
机译:振动驱动的MEMS能量收集器,带有真空紫外线充电的垂直驻极体
机译:自主,自动的MEMS传感器和开关,使用摩擦电导拨和静电悬浮
机译:用于声换能器的驻极体增强型低压MEMS静电平面外执行器
机译:用于声学换能器应用的驻极电压低压MEMS静电外致动器
机译:混合超声 - 静电悬浮在晶体生长和液滴动力学中的应用