机译:利用RCWA优化锯齿光栅及其在倾斜硅衬底上的快速原子束刻蚀工艺。
SURFACE-RELIEF GRATINGS; COUPLED-WAVE ANALYSIS; EFFICIENT IMPLEMENTATION; DIFFRACTION; POLARIZATION; LITHOGRAPHY; LENSES;
机译:利用RCWA优化锯齿光栅及其在倾斜硅衬底上的快速原子束刻蚀工艺。
机译:绝缘体上硅波导中倾斜光栅耦合器的聚焦离子束加工
机译:通过快速原子束蚀刻制造的独立式圆形GaN光栅
机译:使用基于基板倾斜角的快速基于原子束的高效火焰光栅制造
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:通过快速原子束蚀刻制造的独立式HfO2光栅
机译:在绝缘体上硅波导中聚焦离子束制造倾斜光栅耦合器
机译:离子束刻蚀制备高效大孔径透射衍射光栅