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机译:通过快速原子束蚀刻制造的独立式圆形GaN光栅
Department of Nanomechanics, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan;
Department of Nanomechanics, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan;
Department of Nanomechanics, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan;
Department of Nanomechanics, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan;
semiconductor-insulator-semiconductor structures semiconductor-metal-semiconductor structures; gratings; surface cleaning; etching; patterning;
机译:通过中性射线蚀刻和GaN再生制造的InGaN / GaN MQWS的高品质纳米磁盘:以自上而下的结构向定向微LED
机译:InGaAs圆光栅耦合表面发射激光器的聚焦功能,通过电子束写入和圆形扫描制造
机译:通过旋转离子束蚀刻制造的光谱平面强度宽度的多方操梯栅光栅
机译:通过离子束刻蚀制造的独立式HfO2谐振光栅
机译:圆形光栅表面发射分布式布拉格反射器激光器的聚焦,波长调谐,光束控制和光束整形。
机译:通过快速原子束蚀刻制造的独立式HfO2光栅
机译:通过快速原子束蚀刻制造的独立式HfO2光栅
机译:H2sO4-H2O2-H2O体系中优先化学蚀刻制备Gaas衍射光栅的轮廓和凹槽深度控制。