机译:使用大气压空气等离子射流对聚合物膜进行局部蚀刻
air microplasma jet (A mu PJ); maskless pattern etching; parylene-C; polymer films; microstructure; MEMS;
机译:使用大气压空气等离子射流对聚合物膜进行局部蚀刻
机译:非热大气压氦等离子体射流在环境空气中进行局部DLC蚀刻
机译:空气微等离子体射流的产生及其在聚酰亚胺薄膜局部刻蚀中的应用
机译:开发用于选择性腐蚀聚对二甲苯-C膜的大气压空气等离子射流
机译:大气压微等离子体射流用于单片电池应用的局部表面功能化。
机译:冷常压 - 压力导管和等离子体喷射的直接和间接杀菌作用
机译:用于按需材料加工的大气压微量导流射流的局部沉积技术
机译:高效薄膜光伏器件的常压化学气相沉积和CdTe的气相沉积