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机译:优化深反应离子刻蚀硅x射线透镜的形状均匀性并增加结构高度
high-aspect ratio microstructures; deep reactive ion etching; x-ray optics; compound refractive lenses;
机译:优化深反应离子刻蚀硅x射线透镜的形状均匀性并增加结构高度
机译:硅模具的深度反应离子刻蚀,用于制造钻石X射线聚焦透镜
机译:通过电子束光刻和深反应离子刻蚀制造用于硬X射线聚焦的硅纳米管透镜
机译:用于高蚀刻速率深反应离子蚀刻的高级蚀刻工具,在硅微加工环境中
机译:优化了用于MEMS旋转发动机动力系统的超深反应离子刻蚀硅组件的制造。
机译:锗和硅的时分复用深反应离子刻蚀—机理比较及在X射线光学中的应用
机译:用于深度反应离子蚀刻高纵横比的kinoform硅x射线透镜的牺牲结构