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机译:线宽粗糙度的光谱分析及其在浸没式光刻中的应用
Line width roughness; Metrology; Critical dimension scanning electron microscope;
机译:线宽粗糙度的光谱分析及其在浸没式光刻中的应用
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机译:下一代光刻的线边缘粗糙度研究:碳纳米管在数百纳米图案测量中的应用。
机译:基于半峰全宽的视网膜小动脉形态计量学的光谱域光学相干断层扫描图像
机译:远程相关线边缘和线宽粗糙度的光谱分析