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机译:电子回旋共振等离子体沉积的氢化非晶态碳膜的氢结合,固有应力和热稳定性
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机译:电子回旋共振等离子体中氢化非晶碳膜的微观结构,光学和力学性能
机译:热耦合对电子回旋共振沉积氢化非晶硅薄膜电子性能的影响
机译:原位等离子体分析,通过等离子体增强化学气相沉积法沉积在Si上的氟化非晶碳和氢化非晶碳薄膜的氟掺入,热稳定性,应力和硬度比较
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:氢化非晶碳膜中超润滑的界面不稳定性的原子尺度见解
机译:反应电子回旋共振等离子体沉积的非晶氢化硅膜(物理,过程,仪器与测量)
机译:等离子体沉积的无定形氢化碳膜及其摩擦学性能