液相等离子沉积非晶态碳膜的试验研究

摘要

应用简单的电镀槽，通过阴极/电解液界面前沿气泡鞘的形成而建立辉光放电，促成非晶态碳薄膜在电极表面的沉积。沉积物宏观上分布不均匀，在阴极浸入电解液的末端，由于电流的尖端效应，导致生成物为石墨。而远离末端为正常沉积区，表面平整光滑，生成物为非。晶态碳膜。结论：液相等离子沉积行为可发生在辉光放电条件下的阴极过程，从而可应用于非晶态薄膜如非晶态碳的制备。