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机译:通过原子层沉积和化学气相沉积生长SnO2薄膜的比较研究
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机译:化学气相沉积或原子层沉积沉积的非晶薄膜的表面平滑效果
机译:氮化镍膜的原子层沉积和直接液化化学气相沉积及其转化为硅化镍膜。
机译:通过原子层沉积和化学气相沉积在高纵横比结构中沉积的薄膜的ToF-SIMS 3D分析
机译:薄膜前体,性质和应用:4,11和13个元素及其氧化物的化学气相沉积和原子层沉积