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机译:通过正交反应离子刻蚀生成可扩展的准3D介电SERS衬底
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机译:使用基于SF_6的电容耦合等离子体反应离子刻蚀对(001)金红石Nb-TiO_2衬底进行倾斜刻蚀
机译:电感耦合等离子体反应离子刻蚀功率对蓝宝石衬底刻蚀速率和表面粗糙度的影响
机译:在各种衬底上生长的GaN外延层的光增强湿化学蚀刻和反应离子蚀刻的比较研究
机译:在单晶碳化硅衬底上外延生长的六价铁酸钡薄膜的生长和高速率反应离子刻蚀。
机译:基于Au掩模和反应性离子刻蚀的晶圆级分层纳米柱阵列用于有效的3D SERS基板
机译:坚固的覆盆子状金属 - 电介质纳米团簇,其临界尺寸为sERs基材。