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机译:等离子体增强原子层沉积沉积的TiO2薄膜用于OLED钝化
Titanium Dioxide; Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD); Passivation Film; Water Vapor Transmission Rate (WVTR); Organic Light-Emitting Diode (OLED);
机译:等离子体增强原子层沉积沉积的TiO2薄膜用于OLED钝化
机译:氮氧化钛薄膜,用于通过等离子体增强原子层沉积法沉积的晶体硅的表面钝化,以提高导电性
机译:热退火对等离子体增强原子层沉积沉积铝氧化铝薄膜电介质,钝化和pH检测性能的影响
机译:通过等离子体增强的原子层沉积生长二氧化钛薄膜
机译:反馈控制的整合和运行控制对氧化铪薄膜的等离子体增强的原子层沉积
机译:利用远程等离子体原子层沉积系统沉积的HfO2薄膜对硅进行表面钝化
机译:通过等离子体增强的原子层沉积使用四甲基(二甲基氨基)钛(TDMAT)和四氯化钛(TiCl4)前体制备的锡薄膜的数据集
机译:等离子体增强原子层沉积ag薄膜的类似等离子体行为。