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机译:使用间隔物图案化技术的纳米压印光刻的亚30纳米门模板制作
Spacer Patterning Technology; Nanoimprint Lithography; Template;
机译:使用间隔物图案化技术的纳米压印光刻的亚30纳米门模板制作
机译:使用聚焦离子束光刻技术的快速三维三维压印模板制造技术
机译:使用可渗透模板在紫外纳米压印光刻中对高耐蚀性环氧线型酚醛树脂进行亚70纳米分辨率图案化
机译:用于1Tbit / inch 2 sup>位图案化介质的纳米压印光刻的25nm间距母版和复制品模具制造
机译:通过电子束光刻以低于30 nm的分辨率图案化生物分子
机译:通过软紫外-纳米压印光刻技术对图案化的Al薄膜进行退火处理大规模制造纳米图案化的蓝宝石衬底
机译:使用自组装COSI2纳米透视仪和垫片栅极技术制造肖特基屏障MOSFET