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Resistance adjustment in RuO2-based thick film strain-gauges by laser irradiation

机译:激光辐照调节RuO2基厚膜应变计的电阻

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摘要

The piezoresistive effect in thick-film resistors (TFRs) have been investigated since 1973 for a number of low-cost and high sensitivity sensors and transducers compatible with thick film technology [1].
机译:自1973年以来,已对厚膜技术中兼容的许多低成本,高灵敏度传感器和传感器进行了厚膜电阻(TFR)的压阻效应研究[1]。

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