机译:射频功率对射频磁控溅射非晶InGaZnO薄膜结构,光学和电学性质的影响
transparent oxide semiconductor; amorphous InGaZnO (a-IGZO); RF magnetron sputtering; RF power; thin film transistor;
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机译:射频功率和溅射压力对射频磁控溅射制备的TiO_2薄膜的结构和光学性能的影响
机译:射频磁控溅射制备非晶Nb_2O_5薄膜的光学和结构性质
机译:后退火对射频磁控溅射制备ZnO:Al薄膜的结构,电学和光学性质的影响
机译:射频磁控溅射未掺杂镧锰矿薄膜的结构,磁性和表面特性。
机译:射频磁控溅射制备(MgAl)共掺杂ZnO薄膜的光电性能研究与研究
机译:无定形SnO2:TA薄膜的电气和光学性质,由DC和RF磁控溅射制备:对反应气体类型的影响进行系统研究