射频功率和沉积时间对类金刚石薄膜结构及摩擦学性能的影响

摘要

以C2H2为碳源,Ar气为辅助气体,利用射频等离子体化学气相沉积的方法在载玻片上成功地制备了类金刚石（DLC)薄膜。通过红外光谱(FTIR)光谱分析了所制备DLC薄膜的结构；利用原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的表面形貌；另外,实验中还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究。实验结果表明,制备的DLC薄膜比较致密,均匀,有较好的耐磨性能。