机译:流线型主体在热阻MEMS气体流量传感器性能增强中的应用。
MEMS; flow sensor; streamlined body;
机译:流线型主体在热阻MEMS气体流量传感器性能增强中的应用。
机译:具有CMOS MEMS技术的高灵敏度和宽动态范围热量气体热量流量传感器
机译:具有温度补偿的CMOS-MEMS热阻微热量传感器
机译:流线型主体在热阻MEMS气体流量传感器的特性放大中的应用。
机译:基于MEMS的参数放大原子力传感器。
机译:用于高性能低成本和高产量的前端微制造热阻气体流量传感器
机译:用于高温MEMS热基传感器的P型3C-SiC纳米薄膜的热敏性能
机译:利用mHD方法控制超声波流动体表面的热通量