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【2h】

Thermoresistive properties of p-type 3C–SiC nanoscale thin films for high-temperature MEMS thermal-based sensors

机译：用于高温MEMS热基传感器的P型3C-SiC纳米薄膜的热敏性能

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作者
Toan Dinh; Hoang-Phuong Phan; Takahiro Kozeki; Afzaal Qamar; Takahiro Namazu; Nam-Trung Nguyen; Dzung Viet Dao;
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年度 2015
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1. Thermoresistive properties of p-type 3C-SiC nanoscale thin films for high-temperature MEMS thermal-based sensors [J] . Toan Dinh, Hoang-Phuong Phan, Kozeki Takahiro, RSC Advances . 2015,第128期

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